工作原理：

扩散是气体密度均匀化的一种过程。扩散泵底部油锅压力较高的油蒸汽经导流管从泵的喷嘴喷出后，呈雾状向四周定向高速膨胀。被抽容器内的气体扩散到油雾膨胀波中，经碰撞压缩后被逐级输送到泵出口抽走。油蒸汽在泵壁遇冷成油后回流油锅，重新受热循环工作。

结构特点：

基于上述对扩散泵工作原理的认识，我们改变了传统扩散泵上的繁体字式结构。通过计算机模拟，对扩散泵的各级喷嘴及导流管的角度、尺寸和结构进行重新设计，并采用新材料和新工艺研制出全新概念的五级扩散泵。其主要特点如下：

●排气量大

特别是在高压力点仍有较大的抽速，这是因为导流管内压力高，扩散泵顶级喷嘴始终在工作的缘故。这就拓展了扩散泵的稳压区、缩小或消除了过载区，从而缩短了扩散泵的排气时间。

●返油率低

根据试验结果我们发现：扩散泵的返油同样也受扩散定律支配。特别制造的水冷挡油帽可使扩散泵油的返流率降低98%，而又不降低泵的排气量。

●反压强高

这是因为泵油在工作循环中所受到的各种损耗小，反应了设计合理和制作精良。在排气量相同的条件下，可以选择抽速较小的前级泵或不使用增压泵来维持扩散泵的工作，可降低制造成本。临界前级压力高，也减少了前级泵油通过管路向扩散泵内的爬迁。

●性能稳定，可靠性高

为了保持油锅和导流管内油蒸汽的温度和压力，降低热损耗，选用导热系数小的材料制作泵芯。采用拉伸工艺制造的喷嘴和导流管与旋压成型工艺相比，尺寸精度高，互换性好，质量稳定。

由于泵芯材料自身的抗强度高，经拉伸成形后就能经得起油蒸汽长时间反复冲击而保持各级喷嘴的间隙和角度不变。从根本上解决了铝制泵芯热耗大，易变形的问题。确保了扩散泵性能的长期稳定。

●其他特点

1）油位可见，泵高可调，保养维护方便。

2）加热器保温隔热，占地小，与泵体随意调向装卸。

3）铜管冷却，冷却水上进下出，符合扩散泵抽气原理，不易漏水和腐蚀。

4）内藏式水冷障板，结构紧凑，流阻小，挡油效果好。